硅的氣態(tài)氫化物是什么

【硅的氣態(tài)氫化物是什么】1、硅的氣態(tài)氫化物為硅烷；
2、硅烷是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現(xiàn)精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)，用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層，并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。

硅的氣態(tài)氫化物是什么

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