1. 首頁 > 經驗知識 > >

蝕刻機和光刻機區別

生活經驗蝕刻機

蝕刻機和光刻機區別
【蝕刻機和光刻機區別】蝕刻相對于光刻來說要容易一些 。光刻機把圖案印上去 ， 然后蝕刻機根據印上去的圖案蝕刻掉有圖案（或者沒有圖案）的部分 ， 留下剩余的部分 。
光刻是指在涂滿光刻膠的晶圓（或者叫硅片）上蓋上事先做好的光刻板 ， 然后用紫外線隔著光刻板對晶圓進行一定時間的照射 。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質 ， 易于腐蝕 。
蝕刻是光刻后 ， 用腐蝕液將變質的那部分光刻膠腐蝕掉（正膠） ， 晶圓表面就顯出半導體器件及其連接的圖形 。然后用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕 ， 形成半導體器件及其電路 。蝕刻分為兩種 ， 一種是干刻 ， 一種是濕刻（目前主流） ， 顧名思義 ， 濕刻就是過程中有水加入 ， 將上面經過光刻的晶圓與特定的化學溶液反應 ， 去掉不需要的部分 ， 剩下的便是電路結構了 ， 干刻目前還沒有實現商業量產 ， 其原理是通過等離子體代替化學溶液 ， 去除不需要的硅圓部分 。
荷蘭解除禁令,向中國出口光刻機,他們是怎么想的呢?荷蘭最終解禁 ， 賣給中國的光刻機 ， 但這個荷蘭先進的光刻機并不代表中國芯片行業的騰飛 。中國芯片行業真正的救星 ， 一定是中國自己 。特朗普離開白宮后 ， 外國強加給中國的所有技術限制似乎都失敗了 。就在上周 ， 好消息來了 ， 一直處于反對向中國出售光刻機保護主義狀態的荷蘭 ， 同意以12億美元的價格從全球光刻機巨頭ASML (Asme)購買14nm光刻機 。

蝕刻機和光刻機區別

文章插圖
很多人認為這次收購會拯救中國的芯片行業 。但是真的是這樣嗎？
長期以來 ， 由于光刻機的特殊性 ， 中國網民甚至將其視為半導體行業的生命線 。但其實光刻機只是芯片生產線的一部分 。還是一個制作環節 。芯片的生產至少需要七個主要過程 ， 即擴散、光刻、蝕刻、離子注入、薄膜生長、拋光和金屬化 。那么每個流程需要多少設備呢？
以SMIC 12英寸集成電路為例 ， 我們需要22種擴散設備、8種光刻機、25種刻蝕設備、13種離子注入設備、12種研磨拋光設備和17種清洗設備 。此外 ， 還有涂膠設備、PVD設備、檢測設備、檢測設備等 。生產環節也就幾百個 。一臺光刻機不是萬能的 ， 它可以解決上百個生產環節的問題 。所以單用光刻機是絕對不可能實現中國芯片的全面飛躍的 。然而 ， 這并不意味著我是悲觀主義者 。外國人把光刻機賣給中國 ， 確實可以算是中國芯片行業的一個重大轉折點 ， 但最重要的一點不在光刻機 ， 而在賣光刻機 。
事實上 ， 中國現在可以制造激光雕刻機 ， 主要制造商是上海微電子 。這家公司曾經去過央視的節目 ， 是做光刻機的 。雖然它的技術在中國是頂尖的 ， 但在世界上是落后的 ， 落后于荷蘭的兩代ASML 。不過根據中國人的實力 ， 不用擔心他們有多落后 。如果他們有 ， 他們很快就會趕上國際主流標準 。
歐美國家這次愿意把自己的光刻機賣給中國館的主要原因是老套的原因 ， 就是因為中國有 。當中國沒有某項技術的時候 ， 歐美國家肯定會想盡辦法阻止中國購買或者研發 。
蝕刻機和光刻機區別

推薦閱讀