【流量單位中SCCM是什么】SCCM是質流單位 , 表示標準毫升每分鐘,與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如:1毫升每秒,代表單位時間流過的體積 , 而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數,這種單位通常用于化學反應中 , 如CVD等需要精確控制原子成分比之場合 。
【流量單位中SCCM是什么】SCCM是質流單位 , 表示標準毫升每分鐘,與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如:1毫升每秒,代表單位時間流過的體積 , 而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數,這種單位通常用于化學反應中 , 如CVD等需要精確控制原子成分比之場合 。